เป็นการติดตั้งระบบสำหรับตรวจติดตามผลการตรวจวัดมลพิษทางอากาศ การเก็บบันทึกข้อมูล และการรายงานผลการตรวจวัด ในพารามิเตอร์ที่เกี่ยวข้องต่างๆ ได้แก่
ก๊าซซัลเฟอร์ไดออกไซด์ (SO2), ก๊าซออกไซด์ของไนโตรเจน (NOx as NO2), ก๊าซคาร์บอนมอนอกไซด์ (CO), ก๊าซออกซิเจน (O2) และค่าความทึบแสง (Opacity) โดยมีแหล่งกำเนิดที่ต้องดำเนินการตรวจสอบค่าการระบายมลพิษจากปล่องระบายอย่างต่อเนื่อง เพื่อให้การกำกับดูแลและควบคุมให้มีการปลดปล่อยมลพิษทางอากาศเป็นไปตามข้อกำหนด ตามประกาศกระทรวงอุตสาหกรรม เรื่อง กำหนดให้โรงงานประเภทต่างๆต้องติดตั้งเครื่องมือหรือเครื่องอุปกรณ์พิเศษเพื่อตรวจสอบคุณภาพอากาศจากปล่องแบบอัตโนมัติ พ.ศ. 2544 และ ประกาศกรมโรงงานอุตสาหกรรม เรื่อง การส่งข้อมูลเข้าสู่ระบบตรวจสอบคุณภาพอากาศจากปล่องแบบอัตโนมัติอย่างต่อเนื่อง (Continuous Emission Monitoring System : CEMS) พ.ศ. 2550 กำหนดให้การประกอบกิจการบางประเภท ต้องดำเนินการติดตั้งเครื่องมือหรือเครื่องอุปกรณ์พิเศษฯ สำหรับตรวจสอบคุณภาพอากาศจากปล่องแบบอัตโนมัติ

ประเภทโรงงานที่ต้องติดตั้ง CEMS

• ​โรงงานที่เข้าข่ายระบุไว้ในตารางที่ 1-1 ในพื้นที่เขตนิคมอุตสาหกรรมมาบตาพุด นิคมอุตสาหกรรมผาแดง นิคมอุตสาหกรรมตะวันออก(มาบตาพุด) นิคมอุตสาหกรรมเอเชีย จังหวัดระยอง
• โรงงานที่มีเงื่อนไขการอนุญาตให้ติดตั้ง CEMS ที่ตั้งอยู่นอกเขตนิคมอุตสาหกรรมในตำบลมาบตาพุดและตำบลห้วยโป่ง อำเภอเมือง จังหวัดระยอง
• โรงงานที่มีเงื่อนไขการอนุญาตให้ติดตั้ง CEMS ที่ตั้งในพื้นที่อื่นนอกเหนือจากข้อ 1.1 และ 1.2
• โรงงานอื่นที่กรมโรงงานอุตสาหกรรมกำหนด